XRF(蛍光X線)分析

XRF(蛍光X線)分析
ー X – ray fluorescence analysis ー

原理

X線照射により、試料中の原子の内殻軌道の電子が外にたたき出され、その空位に外殻軌道から電子が遷移する。このときに発生する固有のX線(蛍光X線)の波長から定性分析、その強度から定量分析ができる。

特徴

所有のXRF分析装置

・試料を破壊せずに、微量から多量まで迅速に数種類の元素を定性、定量分析ができます。
・試料は固体でも液体でも測定できます。
・EDS型(エネルギー分散型)XRFを所有しており、Na(ナトリウム)~ U(ウラン)の分析が可能です。
・薄膜試料についても対応いたします。(条件により、不可の場合があります。お問い合わせ願います。)
・RoHS分析スクリーニングにも最適です。

分析事例 (RoHS分析スクリーニング)

非破壊・短時間でRoHS分析のスクリーニング(対象元素Cd,Pb,Hg,Cr,Br)を実施。

 


表1. 分析結果

分析項目  単位    分析結果  
1
   定量下限  
※2
    RoHS規格  
(参考)
Cd(カドミウム)       μg/g = ppm   951.0 20 100
Pb(鉛) μg/g = ppm 810.1 20 1,000
Hg(水銀) μg/g = ppm N.D. 20 1,000
Cr(クロム) μg/g = ppm 1,234 20 1,000
Br(臭素) μg/g = ppm 1,123 20 1,000
※1 分析結果は本サンプルだけに関するものです。(分析結果:N.D. = 定量下限未満)
※2  定量下限は参考値です。

対象元素(Cd,Pb,Hg,Cr,Br)が検出された場合、各社基準に従って詳細分析を実施するかどうかの判断材料とする。

分析事例 (接着剤中の塩素分析)

環境に悪影響を与えるハロゲンに注目が集まっており、塩素の管理のため、接着剤中の塩素分析を実施。

 




表2. 分析結果

分析項目 単位    分析結果   
※1
   定量下限   
※2
Cl(塩素)                 μg/g = ppm  251.0 50
※1 分析結果は本サンプルだけに関するものです。(分析結果:N.D. = 定量下限未満)
※2  定量下限は参考値です。