SEM/WDS（走査型電子顕微鏡／波長分散型X線分光法）
SEM/WDS（走査型電子顕微鏡／波長分散型X線分光法）
ー Scanning Electron Microscope / Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy ー
原理
SEMは電子顕微鏡の一種で、電子線を絞って電子ビームとして試料表面上を走査させて照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子と検出することで、試料を観察します。そして、WDSは二次電子や反射電子と同時に放出される特性X線の波長を測定して元素分析を行います。
特徴
弊社所有のFE-SEM／WDS分析装置
・WDSは、B（ボロン）～ U（ウラン）の分析が可能で、エネルギー分解能（波長分解能）が良く、微量濃度の元素が検出できます。
・弊社は、FE-SEM（電解放出型走査電子顕微鏡）を所有しており、従来の熱電子放出型に比べ、低加速電圧、高分解能で数万倍の倍率で観察が可能です。
EDSとWDSの特徴比較
| | エネルギー分散型X線分光法 (EDS) | 波長分散型分光法 (WDS) |
| 測定元素範囲 | B ～ U | B ～ U |
| 測定速度 | 早い | 遅い |
| 他元素同時測定 | 可 | 不可 |
| 検出限界 | 1500 ～ 2000 ppm | 10 ～ 100 ppm |
| 分析事例 ( Mo/S 分析 ) [ EDSとの比較 ] |
Mo（モリブデン）とS（硫黄）はEDSではスペクトルが重なり、分離が難しい元素分析にはWDSが有効で、同定が可能です。
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