SEM/WDS(走査型電子顕微鏡/波長分散型X線分光法)

SEM/WDS(走査型電子顕微鏡/波長分散型X線分光法)
ー Scanning Electron Microscope / Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy ー

原理

SEMは電子顕微鏡の一種で、電子線を絞って電子ビームとして試料表面上を走査させて照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子と検出することで、試料を観察します。そして、WDSは二次電子や反射電子と同時に放出される特性X線の波長を測定して元素分析を行います。

特徴

機器写真

弊社所有のFE-SEM/WDS分析装置

・WDSは、B(ボロン)~ U(ウラン)の分析が可能で、エネルギー分解能(波長分解能)が良く、微量濃度の元素が検出できます。
・弊社は、FE-SEM(電解放出型走査電子顕微鏡)を所有しており、従来の熱電子放出型に比べ、低加速電圧、高分解能で数万倍の倍率で観察が可能です。

EDSとWDSの特徴比較
  エネルギー分散型X線分光法 (EDS) 波長分散型分光法 (WDS)
測定元素範囲 B ~ U B ~ U
測定速度 早い 遅い
他元素同時測定 不可
検出限界 1500 ~ 2000 ppm 10 ~ 100 ppm
分析事例 ( Mo/S 分析 ) [ EDSとの比較 ]

Mo(モリブデン)とS(硫黄)はEDSではスペクトルが重なり、分離が難しい元素分析にはWDSが有効で、同定が可能です。

分析結果