SEM/EDX(走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型X線分光法)

SEM/EDX(走査型電子顕微鏡/エネルギー分散型X線分光法)
ー Scanning Electron Microscope / Energy Dispersive X-ray Spectroscop ー

原理

SEMは電子顕微鏡の一種で、電子線を絞って電子ビームとして試料表面上を走査させて照射し、試料表面から放出される二次電子や反射電子と検出することで、試料を観察します。そして、EDSは二次電子や反射電子と同時に放出される特性X線を利用して元素分析を行います。

特徴

機器写真

弊社所有のFE-SEM/EDS分析装置

・SEMは光学顕微鏡に比べ焦点深度が深く、また高い分解能が得られますので立体感のある鮮明な像が得られます。
・EDSは、B(ボロン)~ U(ウラン)の分析が可能です。
・弊社は、FE-SEM(電解放出型走査電子顕微鏡)を所有しており、従来の熱電子放出型に比べ、低加速電圧、高分解能で数万倍の倍率で観察が可能です。

分析事例( 異物の分析 )

分析結果